(57) Eine begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) für eine Vorrichtung zur Positionierung
und Befestigung von zu bearbeitenden Werkstücken (300, 310, 320, 340) auf der Oberseite
einer im Wesentlichen ebenen, Öffnungen (115) aufweisenden Grundplatte (110), wobei
die Öffnungen (115) an der Unterseite der Grundplatte (110) mit einer Vakuumpumpe
(118) fluidisch verbunden sind und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120)
zwischen dem Werkstück (300, 310, 320, 340) und der Oberseite der Grundplatte (110)
angeordnet ist, und wobei die begrenzt luftdurchlässige Schicht (120) wenigstens auf
ihrer dem Werkstück zugewandten Seite Dichtelemente (140, 142; 146; 147; 148) aufweist,
die eine Mehrzahl von jeweils geschlossenen, abgedichteten Saugbereichen (145; 146';
147'; 148') zwischen Werkstück (300, 310, 320, 340) und Grundplatte (120) ausbilden,
ist dadurch gekennzeichnet, dass die begrenzt luftdurchlässige Schicht aus einem Material
besteht, das durch das Trägermaterial der begrenzt luftdurchlässigen Schicht so ausgebildet
ist, dass sich eine maximale Durchströmbarkeit senkrecht zur Grundplatte einstellt.
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