(19)
(11) EP 1 989 343 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.02.2008

(43) Veröffentlichungstag:
12.11.2008  Patentblatt  2008/46

(21) Anmeldenummer: 07703498.1

(22) Anmeldetag:  16.02.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23F 1/02(2006.01)
C23F 1/18(2006.01)
H01L 21/60(2006.01)
 C23F 1/16(2006.01)
C23F 1/44(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/001363
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/096095 (30.08.2007 Gazette  2007/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 22.02.2006 DE 102006008261

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DIETZ, Frank
    24118 Kiel (DE)
  • KOHLMANN-VON PLATEN, Klaus
    25524 Itzehoe (DE)
  • QUENZER, Hans-Joachim
    25524 Itzehoe (DE)

   


(54) ÄTZLÖSUNG UND VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG EINES UBM-SCHICHTSYSTEMS