(19)
(11) EP 1 989 527 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.11.2008  Patentblatt  2008/46

(21) Anmeldenummer: 07722753.6

(22) Anmeldetag:  15.01.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 1/04(2006.01)
G02B 21/32(2006.01)
G01N 1/28(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/000301
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/098825 (07.09.2007 Gazette  2007/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 28.02.2006 DE 102006009564

(71) Anmelder: Carl Zeiss MicroImaging GmbH
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • SÄGMÜLLER, Bernd
    69514 Laudenbach (DE)

(74) Vertreter: Banzer, Hans-Jörg 
Kraus & Weisert Patent- und Rechtsanwälte Thomas-Wimmer-Ring 15
80539 München
80539 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BEARBEITUNG EINER MASSE MITTELS EINES LASERSTRAHLS UND ENTSPRECHENDE VORRICHTUNG