(19)

(11)

EP 1 994 567 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 22.11.2007 (43) Date de publication: 26.11.2008  Bulletin  2008/48 (21) Numéro de dépôt: 07731623.0 (22) Date de dépôt:  14.02.2007

(51) Int. Cl.:  H01L 29/792(2006.01) H01L 21/336(2006.01) H01L 29/06(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2007/050798 (87) Numéro de publication internationale: WO 2007/093741 (23.08.2007 Gazette  2007/34)

(84) Etats contractants désignés: FR GB (30) Priorité: 14.02.2006 FR 0650525 (71) Demandeur: STMicroeletronics Crolles 2 SAS 38920 Crolles (FR)	(72) Inventeurs: MAZOYER, Pascale F-38420 Domene (FR) BOSSU, Germain F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: de Beaumont, Michel  1bis, rue Champollion 38000 Grenoble 38000 Grenoble (FR)