(19)

(11)

EP 1 996 741 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.12.2008  Patentblatt  2008/49 (21) Anmeldenummer: 07703928.7 (22) Anmeldetag:  17.01.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/00(2006.01) C23C 30/00(2006.01) F01D 25/00(2006.01) C23C 28/00(2006.01) F01D 5/28(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/050425 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/107388 (27.09.2007 Gazette  2007/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 22.03.2006 DE 102006013215 (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: LAMPENSCHERF, Stefan 85586 Poing (DE)