(19)

(11)

EP 1 998 902 A2

(12)

(88) Date of publication A3: 06.03.2008 (43) Date of publication: 10.12.2008 Bulletin 2008/50 (21) Application number: 07757446.5 (22) Date of filing: 23.02.2007

(51) International Patent Classification (IPC):  B05D 3/00(2006.01) H01L 31/0336(2006.01) H01L 31/032(2006.01) (86) International application number: PCT/US2007/062764 (87) International publication number: WO 2007/101136 (07.09.2007 Gazette 2007/36)

(84) Designated Contracting States: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priority: 23.02.2006 US 361515 23.02.2006 US 361103 23.02.2006 US 361522 23.02.2006 US 361498 23.02.2006 US 361433 23.02.2006 US 361464 23.02.2006 US 361523 30.03.2006 US 395668 30.03.2006 US 396199 30.03.2006 US 395438 30.03.2006 US 394849 (71) Applicants: Van Duren, Jeroen K.J. Menlo Park, CA 94025 (US) Leidholm, Craig R. Sunnyvale, CA 94086 (US)

(72) Inventor: ROBINSON, Matthew, R. Palo Alto, CA 94303 (US) (74) Representative: Boyce, Conor et al F. R. Kelly & Co. 27 Clyde Road Ballsbridge Dublin 4 Dublin 4 (IE)