(19)
(11) EP 1 999 298 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.04.2008

(43) Veröffentlichungstag:
10.12.2008  Patentblatt  2008/50

(21) Anmeldenummer: 07726565.0

(22) Anmeldetag:  01.03.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 26/00(2006.01)
C04B 35/00(2006.01)
 C23C 30/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/051929
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/110295 (04.10.2007 Gazette  2007/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 27.03.2006 EP 06006326

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • STEINBACH, Jan
    13353 Berlin (DE)
  • STAMM, Werner
    45481 Mülheim An Der Ruhr (DE)

   


(54) MATRIX UND SCHICHTSYSTEM MIT UNSTÖCHIOMETRISCHEN TEILCHEN