(19)
(11) EP 1 999 779 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
26.11.2014  Patentblatt  2014/48

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
10.09.2014  Patentblatt  2014/37

(21) Anmeldenummer: 07723216.3

(22) Anmeldetag:  13.03.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/16(2006.01)
 H01L 21/67(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/002206
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/112833 (11.10.2007 Gazette  2007/41)

(54)

VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN EINES MIKRO- UND/ODER NANOSTRUKTURIERTEN STRUKTURSUBSTRATS SOWIE BESCHICHTETES STRUKTURSUBSTRAT

DEVICE AND METHOD FOR COATING A MICRO- AND/OR NANO-STRUCTURED STRUCTURAL SUBSTRATE AND COATED STRUCTURAL SUBSTRATE

DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT D'UN SUBSTRAT STRUCTUREL MICROSTRUCTURÉ ET/OU NANOSTRUCTURÉ ET SUBSTRAT STRUCTUREL DOTÉ D'UN REVÊTEMENT

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 28.03.2006 EP 06006328
28.03.2006 US 390822

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
10.12.2008  Patentblatt  2008/50

(73) Patentinhaber: Thallner, Erich
4782 St. Florian (AT)

(72) Erfinder:
  • Thallner, Erich
    4782 St. Florian (AT)
  • Mittendorfer, Gerald
    4975 Suben (AT)
  • Thanner, Christine
    84378 Dietersburg (AT)

(74) Vertreter: Schweiger, Johannes 
Patentanwälte Becker & Müller Turmstrasse 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 0 540 447
FR-A1- 2 597 372
JP-A- 55 166 923
US-A- 5 993 546
US-A1- 2002 176 936
US-B1- 6 485 568
 WO-A-86/02744
JP-A- 6 151 295
US-A- 4 290 384
US-A1- 2001 001 407
US-B1- 6 245 150
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).