(19)
(11) EP 1 999 786 A2

(12)

(88) Date de publication A3:
29.11.2007

(43) Date de publication:
10.12.2008  Bulletin  2008/50

(21) Numéro de dépôt: 07731203.1

(22) Date de dépôt:  26.03.2007
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/336(2006.01)
H01L 21/84(2006.01)
 H01L 29/786(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2007/000520
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2007/110507 (04.10.2007 Gazette  2007/40)
(84) Etats contractants désignés:
DE FR GB IT

(30) Priorité: 28.03.2006 FR 0602682

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • LICITRA, Christophe
    F-38100 Grenoble (FR)
  • PREVITALI, Bernard
    F-38100 Grenoble (FR)

(74) Mandataire: Jouvray, Marie-Andrée et al
Cabinet Hecké World Trade Center - Europole 5, place Robert Schuman B.P. 1537
F-38025 Grenoble Cedex 1
F-38025 Grenoble Cedex 1 (FR)

   


(54) PROCEDE DE REALISATION D'UN TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP A GRILLES AUTO-ALIGNEES