(19)
(11) EP 2 004 090 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
24.12.2008  Patentblatt  2008/52

(21) Anmeldenummer: 07726331.7

(22) Anmeldetag:  12.02.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
A61F 2/00(2006.01)
H01L 21/31(2006.01)
B08B 7/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/051308
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/115849 (18.10.2007 Gazette  2007/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR IT

(30) Priorität: 03.04.2006 DE 102006015382

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • LAERMER, Franz
    71263 Weil der Stadt (DE)
  • STUMBER, Michael
    70825 Korntal-Muenchingen (DE)
  • REICHENBACH, Ralf
    73732 Esslingen (DE)
  • SCHOLTEN, Dick
    70176 Stuttgart (DE)
  • MAEURER, Christian
    71229 Leonberg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG VON NANOSKALIGE POREN AUFWEISENDEM MATERIAL