(19)

(11)

EP 2 005 129 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.12.2008  Patentblatt  2008/52 (21) Anmeldenummer: 07712383.4 (22) Anmeldetag:  28.02.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 5/00(2006.01) H01L 21/00(2006.01) G01J 5/60(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/051895 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/118730 (25.10.2007 Gazette  2007/43)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 12.04.2006 DE 102006017655 (71) Anmelder: centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG 89143 Blaubeuren (DE)	(72) Erfinder: MICHAEL HARTUNG, Robert 89143 Blaubeuren (DE) KEIM, Uwe 72582 Grabenstetten (DE) (74) Vertreter: Lippert, Stachow & Partner  Patentanwälte Krenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)