(19)
(11) EP 2 009 674 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
21.09.2011  Patentblatt  2011/38

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
13.04.2011  Patentblatt  2011/15

(21) Anmeldenummer: 08104357.2

(22) Anmeldetag:  11.06.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(2006.01)
B23K 1/20(2006.01)
 B23K 3/08(2006.01)
B23K 3/06(2006.01)

(54)

Vorrichtung zur Herstellung und Präsentation von Flüssigkeitsschichten

Device for producing and presenting fluid layers

Dispositif de fabrication et de présentation de couches de liquide

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 27.06.2007 DE 102007029726

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
31.12.2008  Patentblatt  2009/01

(73) Patentinhaber: ASM Assembly Systems GmbH & Co. KG
81379 München (DE)

(72) Erfinder:
  • Daschner, Christian
    93413 Cham (DE)
  • Zeiger, Thomas
    6134, Vomp (AT)

(74) Vertreter: Dilg, Haeusler, Schindelmann Patentanwaltsgesellschaft mbH 
Leonrodstrasse 58
80636 München
80636 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A2- 2 009 673
 US-B1- 6 293 317
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).