(19)

(11)

EP 2 010 897 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.01.2009  Patentblatt  2009/02 (21) Anmeldenummer: 07722311.3 (22) Anmeldetag:  26.04.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01N 27/12(2006.01) G01N 27/22(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2007/000754 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/124725 (08.11.2007 Gazette  2007/45)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 27.04.2006 DE 102006019534 (71) Anmelder: CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH 99099 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: MARCH, Barbara 99102 Waltersleben (DE) BROKMANN, Geert 98693 Ilmenau (DE) STEINKE, Arndt 99192 Ingersleben (DE) ALBRECHT, Andreas 99084 Erfurt (DE) (74) Vertreter: Liedtke, Klaus  Liedtke & Partner Patentanwälte Elisabethstrasse 10 99096 Erfurt 99096 Erfurt (DE)