(19)

(11)

EP 2 010 964 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.01.2009  Patentblatt  2009/02 (21) Anmeldenummer: 07724535.5 (22) Anmeldetag:  24.04.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/003605 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/121990 (01.11.2007 Gazette  2007/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 24.04.2006 DE 102006018928 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: FREIMANN, Rolf 73431 Aalen (DE) (74) Vertreter: Diehl & Partner  Patentanwälte Augustenstrasse 46 80333 München 80333 München (DE)