ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNO........................JDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 2999001/02011897CORRECTED EUROPEAN PATENT SPECIFICATIONB8B120110928W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP08159251.1200806272009082120100330enenen946983 P20070628US2011092820113920090107200902201107272011302011020820110928201139C23C 14/56 20060101AFI20081009BHEP C23C 16/44 20060101ALI20081009BHEP C23G 3/00 20060101ALI20081009BHEP C23G 1/00 20060101ALI20081009BHEP C23F 1/44 20060101ALI20081009BHEP C23F 1/26 20060101ALI20081009BHEP C23F 1/00 20060101ALI20081009BHEP C23F 1/08 20060101ALI20081009BHEP B08B 3/08 20060101ALI20081009BHEP C23G 1/12 20060101ALI20081009BHEP B05B 12/10 20060101ALI20081009BHEP deVerfahren zur Reinigung von Ablagerungskammerteilen mithilfe der selektiven SpritzätzungenMethod for cleaning deposition chamber parts using selective spray etchfrProcédél de nettoyage des pièces d'une chambre de dépôt par gravure par pulvérisation sélectiveUS-A1- 2004 099 285US-A1- 2005 048 876US-A1- 2005 172 98411175407.320110726Bao, Liyuan670 Fontes DriveFremont, CA 94539USJiang, Anbei221 E Reed St.San Jose, CA 95112USTan, Samantha S. H.4715 Finn Cove CourtUnion City, CA 94587USQuantam Global Technologies, LLC10125849313763P-EP1900 AM Drive, Suite 200Quakertown, PA 18951USZimmermann & Partner100061091Postfach 330 92080069 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMTNLNOPLPTROSESISKTR20090304200910