(19)
(11) EP 2 013 374 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.07.2008

(43) Veröffentlichungstag:
14.01.2009  Patentblatt  2009/03

(21) Anmeldenummer: 07724453.1

(22) Anmeldetag:  23.04.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/35(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/003523
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/124879 (08.11.2007 Gazette  2007/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 26.04.2006 DE 102006020004

(71) Anmelder: Systec System- und Anlagentechnik GmbH & Co. KG
97753 Karlstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • MÜNZ, Wolf-Dieter
    A-1090 Wien (AT)
  • KUNKEL, Stefan
    63599 Biebergemünd (DE)
  • MANGOLD, Jürgen
    97711 Thundorf-Rothhausen (DE)
  • HOFMANN, Dieter
    63571 Gelnhausen (DE)

(74) Vertreter: Plate, Jürgen et al
Plate Schweitzer Zounek Patentanwälte Rheingaustrasse 196
65203 Wiesbaden
65203 Wiesbaden (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HOMOGENEN PVD-BESCHICHTUNG