(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO
SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL BA HR MK RS |
(30) |
Priorität: |
29.04.2006 DE 102006020100
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(71) |
Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH |
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50968 Köln (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- HÖLZER, Rainer
50354 Hürth (DE)
- FROITZHEIM, Michael
41539 Dormagen (DE)
- ETSCHENBERG, Lars
53721 Siegburg (DE)
- ROTH, Ishan
53844 Troisdorf (DE)
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(74) |
Vertreter: Jönsson, Hans-Peter |
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Patentanwälte von Kreisler Selting Werner
Deichmannhaus am Dom
Bahnhofsvorplatz 1 50667 Köln 50667 Köln (DE) |
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