(84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO
SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL BA HR MK RS |
(30) |
Priorität: |
26.04.2006 DE 102006020093
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(71) |
Anmelder: IHP GmbH - Innovations for High Performance
Microelectronics |
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15236 Frankfurt / Oder (DE) |
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(72) |
Erfinder: |
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- LANDGENDÖRFER, Peter
15230 Frankfurt (Oder) (DE)
- MAASER, Michael
15517 Fürstenwalde/Spree (DE)
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(74) |
Vertreter: Eckey, Ludger |
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Eisenführ, Speiser & Partner
Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2 10178 Berlin 10178 Berlin (DE) |
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