(19)
(11) EP 2 018 246 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.01.2009  Patentblatt  2009/05

(21) Anmeldenummer: 07728082.4

(22) Anmeldetag:  13.04.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B23P 15/00(2006.01)
C23C 4/00(2006.01)
 B23H 9/10(2006.01)
C23C 14/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/053616
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/134916 (29.11.2007 Gazette  2007/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 19.05.2006 WO PCT/EP2006/004786

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GEORGIEV, Viktor
    10717 Berlin (DE)
  • LADRU, Francis-Jurjen
    10629 Berlin (DE)
  • MALOW, Thomas
    45470 Mülheim/Ruhr (DE)
  • REICH, Gerhard
    10717 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM VORBEREITEN EINES BAUTEILS AUS EINEM ELEKTRISCH LEITENDEN BASISMATERIAL AUF DAS DURCHFÜHREN EINES ERODIERPROZESSES