(19)

(11)

EP 2 024 529 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.02.2009  Patentblatt  2009/08 (21) Anmeldenummer: 07725645.1 (22) Anmeldetag:  30.05.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/34(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/004754 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/137824 (06.12.2007 Gazette  2007/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 01.06.2006 DE 102006026005 (71) Anmelder: W. C. Heraeus GmbH 63450 Hanau (DE)	(72) Erfinder: SCHULTHEIS, Markus 36103 Flieden (DE) WEIGERT, Martin 63457 Hanau (DE) (74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian  Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstrasse 12-14 63450 Hanau 63450 Hanau (DE)