(19)
(11) EP 2 024 991 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.02.2009  Patentblatt  2009/08

(21) Anmeldenummer: 06776716.0

(22) Anmeldetag:  09.08.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/205(2006.01)
C30B 29/40(2006.01)
 C30B 25/14(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2006/007894
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/017320 (14.02.2008 Gazette  2008/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(71) Anmelder: Freiberger Compound Materials GmbH
09599 Freiberg (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHOLZ, Ferdinand
    89075 Ulm (DE)
  • BRÜCKNER, Peter
    88069 Tettnang (DE)
  • HABEL, Frank
    09599 Freiberg (DE)
  • LEIBIGER, Gunnar
    09599 Freiberg (DE)

(74) Vertreter: Prüfer & Partner GbR European Patent Attorneys 
Sohnckestraße 12
81479 München
81479 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DOTIERTEN III-N-MASSIVKRISTALLS SOWIE EINES FREISTEHENDEN DOTIERTEN III-N-SUBSTRATES UND DOTIERTER III-N-MASSIVKRISTALL SOWIE FREISTEHENDES DOTIERTES III-N-SUBSTRAT