(19)
(11) EP 2 027 302 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.02.2009  Patentblatt  2009/09

(21) Anmeldenummer: 07725867.1

(22) Anmeldetag:  06.06.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/005010
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/141003 (13.12.2007 Gazette  2007/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 09.06.2006 DE 102006027029

(71) Anmelder: W. C. Heraeus GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • WEIGERT, Martin
    63457 Hanau (DE)
  • SIMONS, Christoph
    63599 Biebergemünd (DE)
  • MÄNNLE, Eckehard
    63639 Flörsbachtal (DE)

(74) Vertreter: Kühn, Hans-Christian 
Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstrasse 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) SPUTTERTARGET MIT EINEM SPUTTERMATERIAL AUF BASIS TIO2 SOWIE HERSTELLVERFAHREN