(19)
(11) EP 2 027 430 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.02.2009  Patentblatt  2009/09

(21) Anmeldenummer: 07729503.8

(22) Anmeldetag:  25.05.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 7/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/055074
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/137997 (06.12.2007 Gazette  2007/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 31.05.2006 DE 102006025356

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DAALMANS, Gabriel
    91315 Höchstadt (DE)
  • SCHEIERMANN, Sergej
    32130 Enger (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BESTIMMEN DER SCHICHTDICKE EINER ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN BESCHICHTUNG AUF EINEM ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN SUBSTRAT