(19)
(11) EP 2 027 435 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.02.2009  Patentblatt  2009/09

(21) Anmeldenummer: 07725761.6

(22) Anmeldetag:  01.06.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 17/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/004881
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/140943 (13.12.2007 Gazette  2007/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 02.06.2006 DE 102006026308
17.11.2006 DE 102006054348

(71) Anmelder: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
79085 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • LOSCHONSKY, Marc
    79110 Freiburg (DE)
  • DADGAR, Armin
    10555 Berlin (DE)
  • REINDL, Leonhard
    79117 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät 
Leopoldstrasse 4
80802 München
80802 München (DE)

   


(54) MASSENSENSITIVE DÜNNSCHICHTRESONATOREN FÜR SCHICHTDICKENMASSSYSTEME