(19)
(11) EP 2 027 612 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.02.2009  Patentblatt  2009/09

(21) Anmeldenummer: 07729794.3

(22) Anmeldetag:  01.06.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 41/09(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/055393
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/144275 (21.12.2007 Gazette  2007/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 13.06.2006 DE 102006027385

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GOTTLIEB, Bernhard
    81739 München (DE)
  • KAPPEL, Andreas
    85649 Brunnthal (DE)
  • SCHWEBEL, Tim
    80337 München (DE)
  • WALLENHAUER, Carsten
    01987 Schwarzheide (DE)

   


(54) FESTKÖRPERAKTOR-ANTRIEBSVORRICHTUNG BZW. VERFAHREN ZUM ANTREIBEN EINER FESTKÖRPERAKTOR-ANTRIEBSVORRICHTUNG