| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO
SE SI SK TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL BA HR MK RS |
| (30) |
Priorität: |
31.05.2006 DE 102006026457
26.09.2006 DE 102006047071
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| (71) |
Anmelder: IHP GmbH - Innovations for High Performance
Microelectronics |
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15236 Frankfurt / Oder (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- KITTLER, Martin
15234 Frankfurt (DE)
- ARGUIROV, Tzanimir
03044 Cottbus (DE)
- SEIFERT, Winfried
15230 Frankfurt (DE)
- REICHE, Manfred
06132 Halle (DE)
- YU, Xuegong
03046 Cottbus (DE)
- VYVENKO, Oleg F.
St. Petersburg, 198188 (RU)
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| (74) |
Vertreter: Eisenführ, Speiser & Partner |
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Patentanwälte Rechtsanwälte
Spreepalais am Dom
Anna-Louisa-Karsch-Strasse 2
10178 Berlin
10178 Berlin (DE) |
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