(57) Eine Vorrichtung zum Bestrahlen eines Substrats mittels UV-Strahlen, weist eine UV-Lampe
(9) und einen zugeordneten Reflektor (24) auf, welche derart in einem Gehäuse (2)
angeordnet sind, dass UV-Strahlen direkt oder indirekt auf einer Austrittsseite (10)
aus dem Gehäuse (2) austreten. Eine Kühleinrichtung (17, 21, 23) zum Kühlen der UV-Lampe
(9), insbesondere unter Verwendung zweier Kühlfluide ([1], [2], 23) ist ebenfalls
vorgesehen. Das Gehäuse (2) weist wenigstens einen Einlass (22) für ein von einem
Förderer (21) zwangsläufig zur Strömung angetriebenes Kühlgas und wenigstens einen
Auslass (20) dafür auf, so dass Kühlgas durch das Gehäuse (2) hindurchleitbar ist.
Diese Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass
a) der UV-Lampe (9) ein beweglicher Verschluss (12, 13) zugeordnet ist; dass
b) der Verschluss (12, 13) mit einem Antrieb (14-16) versehen und mit dessen Hilfe
um die Längsachse der UV-Lampe (9) entlang einer Rotationsbahn drehbar ist, und dass
c) wenigstens ein Teil des Verschlusses (12, 13) mit Förderflügeln (17) für das Kühlgas
versehen ist.
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