MÉTHODE ET APPAREIL DE CARACTÉRISATION OPTIQUE DU DOPAGE D'UN SUBSTRAT - Patent 2032974

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EP 2 032 974 A1

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(43)	Date de publication:
	11.03.2009 Bulletin 2009/11

(21)	Numéro de dépôt: 07803753.8

(22)	Date de dépôt: 14.06.2007

(51)

Int. Cl.:

G01N 21/95^(2006.01)

H01L 21/66^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2007/000992

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2007/144514 (21.12.2007 Gazette 2007/51)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
	Etats d'extension désignés:
	AL BA HR MK RS

(30)

Priorité:

14.06.2006 FR 0605329

(71)	Demandeur: Ion Beam Services
	13790 Peynier (FR)

(72)	Inventeurs:
	TORREGROSA Frank 13109 Simiane (FR) ROUX Laurent 13013 Marseille (FR)

(74)	Mandataire: Renaud-Goud, Thierry
	Renaud-Goud Conseil 5, rue de Montigny F-13100 Aix-en-Provence F-13100 Aix-en-Provence (FR)

(54)	MÉTHODE ET APPAREIL DE CARACTÉRISATION OPTIQUE DU DOPAGE D'UN SUBSTRAT