(19)
(11) EP 2 032 994 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
28.02.2008

(43) Veröffentlichungstag:
11.03.2009  Patentblatt  2009/11

(21) Anmeldenummer: 07727925.5

(22) Anmeldetag:  10.04.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01P 15/08(2006.01)
 G01P 15/125(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/053457
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2007/141070 (13.12.2007 Gazette  2007/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 09.06.2006 DE 102006026880

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • OHL, Christian
    72793 Pfullingen (DE)
  • EMMERICH, Harald
    72127 Kusterdingen (DE)
  • FREY, Volker
    72072 Tuebingen (DE)
  • WOLFMAYR, Holger
    72793 Pfullingen (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHER BESCHLEUNIGUNGSSENSOR