(57) Ein Messsystem zur fotoelektrischen Abtastung von Messstellen eines Messobjekts umfasst
einen Beleuchtungskanal (21-24) zur Beaufschlagung des in einer Messebene (MP) angeordneten
Messobjekts (M) mit Beleuchtungslicht und einen Messkanal (11-13) zum Auffangen und
zur fotoelektrischen Wandlung des von den Messstellen des Messobjekts M zurückgeworfenen
Messlichts. Der Beleuchtungskanal und/oder der Messkanal ist dafür ausgebildet, die
Reflexionseigenschaften der Messstellen in mehreren Wellenlängenbändern zu erfassen.
Der Beleuchtungskanal (21-24) weist einen von einer elektronischen Steuerungseinheit
(40) gesteuerten spatialen Lichtmodulator (23) zur Erzeugung eines räumlichen Beleuchtungsmusters
auf, welches die selektive Beaufschlagung von interessierenden Messstellen (25) des
Messobjekts (M) mit Beleuchtungslicht bewirkt. Die Steuerungseinheit (40) ist mit
Bildverarbeitungsfunktionalitäten ausgestattet und dazu ausgebildet, aus Bilddaten
des Messobjekts (M) für den Anwendungszweck geeignete Messstellen (25) zu lokalisieren
und entsprechende Beleuchtungsmuster zur selektiven Beleuchtung der Messstellen zu
berechnen. Alternativ kann die Steuerungseinheit (40) Beleuchtungsmuster auch aufgrund
von Positionsdaten von interessierenden Messstellen (25) berechnen und den spatialen
Lichtmodulator (23) zur Erzeugung der berechneten Beleuchtungsmuster ansteuern. Der
Messkanal weist eine bildgebende Abtasteinrichtung (11) für das Messobjekt (M) auf,
welche Abtasteinrichtung Bilddaten des Messobjekts erzeugt und der Steuerungseinheit
(40) zur Berechnung von Beleuchtungsmustern zuführt. Die spatial intensitätsmässig modulierten Beleuchtungsmuster erlauben eine optische
Isolation der interessierenden Messstellen und dadurch die Elimination von optischen
Übersprecheffekten. Dadurch ist das Messsystem zur präzisen spektralen Ausmessung
von sehr kleinen, innerhalb des Messobjekts verteilten Messstellen geeignet.
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