(19)

(11)

EP 2 035 595 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 10.04.2008 (43) Veröffentlichungstag: 18.03.2009  Patentblatt  2009/12 (21) Anmeldenummer: 07764369.0 (22) Anmeldetag:  14.06.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 10/02(2006.01) C23C 10/26(2006.01) C23C 10/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2007/001052 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2007/147387 (27.12.2007 Gazette  2007/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 20.06.2006 DE 102006028297 (71) Anmelder: MTU Aero Engines GmbH 80995 München (DE)	(72) Erfinder: DÄUBLER, Manfred, A. 85221 Dachau (DE) WERNER, André 80995 München (DE) WALTER, Heinrich 86316 Friedberg (DE)