ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MT..RS..*XDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 1100000/02036120A220090318EP07784191.42007052920081229enenen803481 P20060530US75396820070525US2009031820091220090318200912H01L 21/302 20060101AFI20090120BHEP deNEUARTIGER ABSCHEIDUNGSPLASMA-AUSHÄRTZYKLUSPROZESS ZUR VERBESSERUNG DER FILMQUALITÄT VON SILICIUMDIOXIDenA NOVEL DEPOSITION-PLASMA CURE CYCLE PROCESS TO ENHANCE FILM QUALITY OF SILICON DIOXIDEfrNOUVEAU PROCEDE COMBINANT DEPOT ET DURCISSEMENT PAR PLASMA PERMETTANT D'AMELIORER LA QUALITE D'UN FILM DE DIOXYDE DE SILICIUMAPPLIED MATERIALS, INC.0198735514145R-EPP.O. Box 450ASanta Clara, CA 95052USCHEN, Xiaolin1552 Chihong DriveSan Jose, CA 95131USNEMANI, Srinivas, D.504 Fan Ridge CourtSunnyvale, CA 94087USVENKATARAMAN, Shankar3444 Notre Dame DriveSanta Clara, CA 95051USZimmermann & Partner00111931Isartorplatz 180331 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEISITLILTLULVMCMTNLPLPTROSESISKTRALBAHRMKRSUS200706989920070529enWO20071403772007120620074920080828000000