(19)
(11) EP 2 038 623 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.03.2009  Patentblatt  2009/13

(21) Anmeldenummer: 07785589.8

(22) Anmeldetag:  04.07.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 9/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2007/001179
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/003302 (10.01.2008 Gazette  2008/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 07.07.2006 DE 102006031822

(71) Anmelder: Universität zu Lübeck
23538 Lübeck (DE)

(72) Erfinder:
  • HUETTMANN, Gereon
    23564 Luebeck (DE)
  • KOCH, Peter
    23558 Luebeck (DE)

(74) Vertreter: Biehl, Christian 
Boehmert & Boehmert Anwaltssozietät Niemannsweg 133
24105 Kiel
24105 Kiel (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ABTASTUNG OPTISCHER INTERFERENZMUSTER MIT ZEILENSENSOREN