(19)
(11) EP 2 038 690 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.02.2008

(43) Veröffentlichungstag:
25.03.2009  Patentblatt  2009/13

(21) Anmeldenummer: 07726163.4

(22) Anmeldetag:  27.06.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/16(2006.01)
G02B 21/06(2006.01)
G02B 21/36(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/005662
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/003419 (10.01.2008 Gazette  2008/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 06.07.2006 DE 102006031177

(71) Anmelder: Carl Zeiss Meditec AG
07745 Jena (DE)

(72) Erfinder:
  • WESTPHAL, Peter
    07743 Jena (DE)
  • BUBLITZ, Daniel
    07743 Jena (DE)

(74) Vertreter: Beck, Bernard et al
Carl Zeiss Jena GmbH Carl-Zeiss-Promenade 10
07745 Jena
07745 Jena (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ERZEUGUNG EINES BILDES EINER DÜNNEN SCHICHT EINES OBJEKTS