(19)
(11) EP 2 038 912 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.03.2009  Patentblatt  2009/13

(21) Anmeldenummer: 07764905.1

(22) Anmeldetag:  28.06.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/147(2006.01)
H01J 37/305(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/005715
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/003425 (10.01.2008 Gazette  2008/02)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 06.07.2006 DE 102006031244

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MATTAUSCH, Gösta
    01454 Ullersdorf (DE)
  • FLASKE, Henrik
    01157 Dresden (DE)
  • LIEBIG, Jörn-Steffen
    01328 Dresden (DE)
  • KIRCHHOFF, Volker
    01324 Desden (DE)
  • HEINSS, Jens-Peter
    01309 Dresden (DE)
  • KLOSE, Lars
    01328 Dresden OT Weissig (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM ELEKTRONENSTRAHLVERDAMPFEN