(57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (100) mit Gaseinlass und schnelldrehendem
Rotor (124), welche mit einem mit mehreren durch eine Trennwand (106) getrennten Ansaugöffnungen
versehenen Flansch (118) einer Mehrkammervakuumanlage verbindbar ist. Um bei einem
einfachen Aufbau in der Lage einen Druckunterschied zwischen den Kammern (102,103)
aufrecht zu erhalten, wird vorgeschlagen, im Gaseinlass eine diesen in Ansaugbereiche
unterteilende Gaswegtrennstruktur (127,128,129) angeordnet ist, welche derart gestaltet
ist, dass sie zusammen mit der Trennwand (106) eine Abdichtung der Kammern bewirkt.
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