(19)
(11) EP 2 046 506 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
20.02.2013  Patentblatt  2013/08

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
09.01.2013  Patentblatt  2013/02

(21) Anmeldenummer: 07801453.7

(22) Anmeldetag:  19.07.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B05D 7/22(2006.01)
C23C 16/04(2006.01)
C23C 16/507(2006.01)
 B05D 7/24(2006.01)
C08J 7/18(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2007/006615
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/014915 (07.02.2008 Gazette  2008/06)

(54)

VERFAHREN ZUM PLASMABEHANDELN EINER OBERFLÄCHE

METHOD FOR THE PLASMA TREATMENT OF A SURFACE

PROCÉDÉ DE TRAITEMENT PLASMA D'UNE SURFACE

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 31.07.2006 DE 102006036536

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
15.04.2009  Patentblatt  2009/16

(73) Patentinhaber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • THOMAS, Michael
    31275 Lehrte (DE)
  • SCHLITTENHARDT, Eugen
    38448 Wolfsburg (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Joachimstaler Strasse 12
10719 Berlin
10719 Berlin (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
WO-A-02/26401
DE-A1- 4 437 050
US-A- 5 833 752
US-A1- 2006 156 983
 WO-A-95/22413
US-A- 4 066 037
US-A1- 2002 092 617
US-B1- 6 204 605
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).