(19)

(11)

EP 2 047 209 A1

(12)

(43) Date de publication: 15.04.2009  Bulletin  2009/16 (21) Numéro de dépôt: 07788125.8 (22) Date de dépôt:  01.08.2007

(51) Int. Cl.:  G01B 11/02(2006.01) H01L 21/66(2006.01) G03F 7/20(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2007/057956 (87) Numéro de publication internationale: WO 2008/015230 (07.02.2008 Gazette  2008/06)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA HR MK RS (30) Priorité: 02.08.2006 FR 0653248 (71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: GIDON, Serge 38140 La Murette (FR) (74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe  BREVALEX 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)