(19)

(11)

EP 2 054 626 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.05.2009  Patentblatt  2009/19 (21) Anmeldenummer: 07788296.7 (22) Anmeldetag:  07.08.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  F04C 29/00(2006.01) F04C 28/28(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/058199 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/022916 (28.02.2008 Gazette  2008/09)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 23.08.2006 DE 102006039529 (71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH 50968 Köln (DE)	(72) Erfinder: ZÖLLIG, Uwe 50829 Köln (DE) DREIFERT, Thomas 50171 Kerpen (DE) (74) Vertreter: Krüger, Florian  Patentanwälte von Kreisler Selting Werner (Nr. 224) Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1 50462 Köln 50462 Köln (DE)