(19)

(11)

EP 2 057 446 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 26.06.2008 (43) Veröffentlichungstag: 13.05.2009  Patentblatt  2009/20 (21) Anmeldenummer: 07801588.0 (22) Anmeldetag:  09.08.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01J 3/28(2006.01) H01L 27/146(2006.01) G02B 5/28(2006.01) G03F 7/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/007075 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/017490 (14.02.2008 Gazette  2008/07)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 09.08.2006 DE 102006039071 09.08.2006 DE 102006039073 (71) Anmelder: Opsolution Nanophotonics GmbH 34119 Kassel (DE) Opsolution GmbH 34119 Kassel (DE)	(72) Erfinder: HILLMER, Hartmut 34128 Kassel (DE) KÖCHER, Wolfgang 34121 Kassel (DE) KRIEG, Jürgen 34613 Schwalmstadt (DE) SANDHAGEN, Carl 34119 Kassel (DE) HOHEISEL, Hardy 34225 Baunatal (DE) WILLEMER, Winfried 37077 Göttingen (DE) (74) Vertreter: Rössig, Rolf  Beck & Rössig European Patent Attorneys Cuvilliésstrasse 14 81679 München 81679 München (DE)