(19)
(11) EP 2 057 670 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
18.09.2008

(43) Veröffentlichungstag:
13.05.2009  Patentblatt  2009/20

(21) Anmeldenummer: 07801318.2

(22) Anmeldetag:  29.08.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/311(2006.01)
H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2007/001581
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/025354 (06.03.2008 Gazette  2008/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 01.09.2006 DE 102006042329

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOPFE, Volkmar
    01814 Kleingiesshübel (DE)
  • DANI, Ines
    09244 Lichtenau (DE)
  • LOPEZ, Elena
    01037 Dresden (DE)
  • MÖLLER, Rainer
    01129 Dresden (DE)
  • HEINTZE, Moritz
    89073 Ulm (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte An der Frauenkirche 20
01067 Dresden
01067 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN PLASMACHEMISCHEN TROCKENÄTZEN VON AUF OBERFLÄCHEN VON SILICIUM-WAFERN AUSGEBILDETEM PHOSPHORSILIKATGLAS