(19)
(11) EP 2 064 293 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
04.12.2008

(43) Veröffentlichungstag:
03.06.2009  Patentblatt  2009/23

(21) Anmeldenummer: 07801334.9

(22) Anmeldetag:  10.09.2007
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C09D 4/00(2006.01)
C09D 183/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2007/001602
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/034409 (27.03.2008 Gazette  2008/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 18.09.2006 DE 102006044310

(71) Anmelder: Nano-X GmbH
66130 Saarbrücken (DE)

(72) Erfinder:
  • SEPEUR, Stefan
    66787 Wadgassen (DE)
  • LARYEA, Nora
    66113 Saarbrücken (DE)
  • THURN, Carolin
    66265 Heusweiler (DE)
  • SCHLICK, Gerd
    57800 Freyming-Merlebach (FR)

(74) Vertreter: Vièl, Christof et al
Patentanwaltskanzlei Vièl & Wieske Postfach 65 04 03
66143 Saarbrücken
66143 Saarbrücken (DE)

   


(54) SILANBESCHICHTUNGSMATERIAL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SILANBESCHICHTUNG