(19)

(11)

EP 2 064 750 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 08.05.2008 (43) Veröffentlichungstag: 03.06.2009  Patentblatt  2009/23 (21) Anmeldenummer: 07802115.1 (22) Anmeldetag:  04.09.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/18(2006.01) H01L 31/0224(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/007703 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/028625 (13.03.2008 Gazette  2008/11)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR MK RS (30) Priorität: 04.09.2006 DE 102006041424 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: BIRO, Daniel 79106 Freiburg (DE) PREU, Ralf 79117 Freiburg (DE) RENTSCH, Jochen 79312 Emmendingen (DE)