(19)
(11) EP 2 066 827 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.06.2009  Patentblatt  2009/24

(21) Anmeldenummer: 06805371.9

(22) Anmeldetag:  29.09.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 24/04(2006.01)
 C23C 30/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2006/001751
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2008/037237 (03.04.2008 Gazette  2008/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • JANZ, Dirk
    13156 Berlin (DE)
  • JENSEN, Jens Dahl
    14050 Berlin (DE)
  • KLINGEMANN, Jens
    12524 Berlin (DE)
  • KRÜGER, Ursus
    14089 Berlin (DE)
  • KÖRTVELYESSY, Daniel
    13469 Berlin (DE)
  • LÜTHEN, Volkmar
    12157 Berlin (DE)
  • REICHE, Ralph
    13465 Berlin (DE)
  • STIER, Oliver
    12159 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINER NICHTMETALLISCHEN BESCHICHTUNG MITTELS KALTGAS-SPRITZEN