VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM BENETZEN DER BUMPS EINES HALBLEITERCHIPS MIT LÖTFLUSSMITTEL - Patent 2067166

(19)

(11)

EP 2 067 166 A1

(12)

(43)	Veröffentlichungstag:
	10.06.2009 Patentblatt 2009/24

(21)	Anmeldenummer: 07803409.7

(22)	Anmeldetag: 11.09.2007

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 21/60^(2006.01)
B23K 1/20^(2006.01)

H01L 21/00^(2006.01)
B23K 3/08^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2007/059545

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2008/034744 (27.03.2008 Gazette 2008/13)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL BA HR MK RS

(30)

Priorität:

21.09.2006 CH 15062006

(71)	Anmelder: Oerlikon Assembly Equipment AG, Steinhausen
	6330 Cham (CH)

(72)	Erfinder:
	GRUETER, Ruedi CH-6018 Buttisholz (CH) WERNE, Dominik CH-6315 Oberaegeri (CH) BAUMANN, Damian CH-5630 Muri AG (CH)

(74)	Vertreter: Falk, Urs
	Patentanwaltsbüro Dr. Urs Falk Eichholzweg 9A 6312 Steinhausen 6312 Steinhausen (CH)

(54)	VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM BENETZEN DER BUMPS EINES HALBLEITERCHIPS MIT LÖTFLUSSMITTEL