(19)
(11) EP 2 068 103 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.03.2018  Patentblatt  2018/12

(43) Veröffentlichungstag A2:
10.06.2009  Patentblatt  2009/24

(21) Anmeldenummer: 08020788.9

(22) Anmeldetag:  29.11.2008
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F25D 19/00(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA MK RS

(30) Priorität: 05.12.2007 DE 102007055712

(71) Anmelder: Bruker BioSpin AG
8117 Fällanden (CH)

(72) Erfinder:
  • Zogmal, Olivier
    8057 Zürich (CH)
  • Baumann, Daniel Guy
    8057 Zürich (CH)
  • Lehnert, Frank
    8630 Rüti (CH)

(74) Vertreter: Kohler Schmid Möbus Patentanwälte 
Partnerschaftsgesellschaft mbB Gropiusplatz 10
70563 Stuttgart
70563 Stuttgart (DE)

   


(54) Messmodul zur schnellen Messung von elektrischen, elektronischen und mechanischen Bauteilen bei kryogenen Temperaturen sowie Messeinrichtung mit einem solchen Messmodul


(57) Ein Messmodul zur Messung eines Messobjektes (6) mit einer Messkammer (4), mit einem Kontaktelement (5a, 5b), wobei das Messobjekt (6) mit einer ersten Kontaktfläche (9a) des Kontaktelementes (5a, 5b) thermisch verbunden ist, und mit einem Kaltkopf (1 b, 2b, 2c), der mit einer zweiten Kontaktfläche (9b) des Kontaktelementes (5a, 5b) thermisch verbunden werden kann, wobei das Kontaktelement (5a, 5b) aus thermisch gut leitendem Material besteht, ist dadurch gegenzeichnet, dass der Kryokühler (1 a, 2a) samt Kaltkopf in einer Kühlkammer (3) untergebracht ist, welche von der Messkammer (4) räumlich getrennt und unabhängig von dieser evakuierbar ist, dass das Kontaktelement (5a, 5b) thermisch isoliert von der Außenwand des Messmoduls befestigt, Teil einer Trennwand zwischen der Messkammer (4) und der Kühlkammer (3) ist und eine lokale thermische Verbindung von der Messkammer (4) zur Kühlkammer (3) herstellt, und dass eine Kontaktierungseinrichtung zur Änderung des Wärmeflusses im hermetisch geschlossenen Zustand des Messmoduls vorgesehen ist. Mit einem derartigen Messmodul können Abkühlzeiten und Aufwärmzeiten des Messobjekts stark verkürzt werden.







Recherchenbericht









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