(19)

(11)

EP 2 076 810 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.07.2009  Patentblatt  2009/28 (21) Anmeldenummer: 07818633.5 (22) Anmeldetag:  02.10.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G02B 21/08(2006.01) G02B 21/24(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/008553 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/043458 (17.04.2008 Gazette  2008/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 11.10.2006 DE 102006048056 (71) Anmelder: Carl Zeiss MicroImaging GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: DIETRICH, Peter 73447 Oberkochen (DE) BOEKER, Christian 37130 Gleichen (DE) SCHRADER, Henning 37085 Göttingen (DE) (74) Vertreter: Scholze, Humbert  Carl Zeiss Jena GmbH Servicebereich Recht und Patente Carl-Zeiss-Promenade 10 07745 Jena 07745 Jena (DE)