(19)

(11)

EP 2 080 214 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.07.2009  Patentblatt  2009/30 (21) Anmeldenummer: 07818909.9 (22) Anmeldetag:  11.10.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/32(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/008838 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/046551 (24.04.2008 Gazette  2008/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 16.10.2006 DE 102006048815 (71) Anmelder: Iplas Innovative Plasma Systems Gmbh 53842 Troisdorf (DE)	(72) Erfinder: SPITZL, Ralf 53842 Troisdorf (DE) (74) Vertreter: Flaccus, Rolf-Dieter  Flaccus · Müller-Wolff Patentanwälte Bussardweg 10 50389 Wesseling 50389 Wesseling (DE)