(19)

(11)

EP 2 082 076 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.07.2009  Patentblatt  2009/31 (21) Anmeldenummer: 06807469.9 (22) Anmeldetag:  23.10.2006

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/54(2006.01) F01D 5/28(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2006/067659 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/049456 (02.05.2008 Gazette  2008/18)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR (71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 80333 München (DE)	(72) Erfinder: LADRU, Francis-Jurjen 13587 Berlin (DE) MOTZKUS, Ralf 13187 Berlin (DE)