(19)

(11)

EP 2 082 428 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 21.08.2008 (43) Veröffentlichungstag: 29.07.2009  Patentblatt  2009/31 (21) Anmeldenummer: 07821258.6 (22) Anmeldetag:  12.10.2007

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 27/30(2006.01) H01L 51/44(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2007/060891 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2008/046789 (24.04.2008 Gazette  2008/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MT NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 18.10.2006 DE 102006049120 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: FÜRST, Jens 91093 Hessdorf (DE)